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掃描電子顯微鏡的原理

掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope,SEM)是一種利用電子束與樣品相互作用,獲得高分辨率的顯微成像的儀器。其原理可以簡單描述如下:電子源發(fā)射出電子束,經(jīng)過一系列的透鏡系統(tǒng)進(jìn)行聚焦,使得電子束成為一個(gè)極細(xì)的束。

MORE INFO → 行業(yè)動(dòng)態(tài) 2023-04-24

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