掃描電鏡在掃描過程中出現圖像偏移，一般可以從幾個典型原因去判斷。

常見的是樣品問題。如果樣品沒有固定牢，或者底部接觸不好，在高倍下就會表現為圖像慢慢“漂走”。另外非導電樣品容易產生充電效應，也會導致畫面跳動或漂移，這種情況通常需要噴金、降低加速電壓，或者換低真空模式。

還有一種很典型的是熱漂移。剛換樣或者剛開機時，樣品臺和鏡筒溫度沒有穩定，圖像會緩慢朝一個方向移動。這種情況不用急著調參數，放置一段時間、先低倍掃描預熱，通常會明顯改善。

如果圖像是抖動或者不規則跳動，要考慮外界干擾。機械振動（比如腳步、設備運轉）和電磁干擾（電源不穩、附近有電機）都會引起這種問題。高倍下尤其明顯，可以通過降低倍率對比判斷。

掃描系統本身也可能有影響，比如掃描信號不穩定或倍率過高，會把微小擾動放大成明顯偏移?？梢試L試降低掃描速度、使用幀積分，或者簡單重啟掃描系統測試。

另外，真空狀態不好或者腔體污染，也會讓圖像在掃描過程中逐漸變化甚至偏移，這種情況通常伴隨信號不穩定。