掃描電鏡中樣品是否發(fā)生充電，可以通過(guò)圖像和成像行為的變化快速判斷。

直觀(guān)的表現(xiàn)是圖像不穩(wěn)定。掃描過(guò)程中畫(huà)面會(huì)出現(xiàn)整體漂移、抖動(dòng)，或局部區(qū)域來(lái)回晃動(dòng)，重復(fù)掃描同一區(qū)域時(shí)位置難以重合，這是典型的充電特征。

其次是亮度異常變化。圖像會(huì)突然變亮、變暗，或出現(xiàn)一片發(fā)白、發(fā)黑的區(qū)域，且亮度隨掃描時(shí)間不斷變化，而不是保持穩(wěn)定。

第三是條紋和畸變。畫(huà)面中可能出現(xiàn)彎曲的掃描線(xiàn)、不規(guī)則條紋，尤其在高倍率下更明顯，重新聚焦也難以消除。

另外，通過(guò)參數(shù)變化驗(yàn)證也很有效。適當(dāng)降低加速電壓或束流后，如果圖像立刻變得穩(wěn)定、條紋減輕，通常可以確認(rèn)之前存在充電問(wèn)題。

總結(jié)來(lái)說(shuō)，圖像漂移、亮度跳變、掃描條紋明顯，且對(duì)束流、電壓變化高度敏感，基本都可以判斷樣品發(fā)生了充電現(xiàn)象。