實(shí)用型電子束光刻機(jī)——精細(xì)加工與小批量試制裝備
日期:2026-03-13
實(shí)用型電子束光刻機(jī)兼顧精度與實(shí)用性,優(yōu)化了操作便捷性與成本控制,適配半導(dǎo)體微器件小批量試制、科研成果轉(zhuǎn)化、高校教學(xué)實(shí)驗(yàn)等場(chǎng)景,無(wú)需超高精度,可滿足常規(guī)微納加工的核心需求。
核心性能與配置
- 光刻精度:具備納米級(jí)光刻能力,可滿足微納器件、微結(jié)構(gòu)的精細(xì)加工需求;
- 核心配置:搭載場(chǎng)發(fā)射電子槍與高精度樣品臺(tái),兼顧加工效率與精度,適配小批量加工需求;
- 操作便捷:參數(shù)調(diào)節(jié)直觀,支持自動(dòng)化曝光與校準(zhǔn)功能,降低操作門檻,提升小批量試制效率;
- 成本適配:核心部件穩(wěn)定耐用,日常維護(hù)簡(jiǎn)潔,耗材成本合理,適配小批量生產(chǎn)與教學(xué)實(shí)驗(yàn)的預(yù)算需求。
該機(jī)型主打?qū)嵱眠m配,平衡精度與操作成本,不同產(chǎn)品在加工效率、維護(hù)便捷性上存在差異,適合對(duì)精度有一定要求、注重性價(jià)比的使用場(chǎng)景,是科研成果轉(zhuǎn)化與基礎(chǔ)微納加工的優(yōu)選裝備。
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作者:澤攸科技
