調整掃描電鏡（SEM）的電子束電流（Beam Current）可以影響成像的分辨率、信噪比和樣品損傷程度。以下是調整電子束電流的方法及其影響：

1. 通過透鏡孔徑（Aperture）調整

電子束通過透鏡孔徑時，較小的孔徑會減少束流，提高分辨率但降低信號強度。

增大孔徑可以提高電子束電流，從而增強信號，但可能會降低分辨率。

操作步驟：

進入 SEM 控制界面，找到 Aperture Size 選項。

選擇較小的孔徑以提高分辨率，或選擇較大的孔徑以增加電流。

2. 通過槍電流（Gun Current）調整

電子束的發射源（如鎢絲、LaB? 或場發射源）決定了初始電子數量。

通過調整發射源的 Filament Current 或 Emission Current 可以控制電子束電流。

操作步驟：

進入 SEM Gun Control 界面。

增大 Filament Current 可提高束流，但可能增加電子源消耗。

適量減少可降低樣品充電效應和損傷。

3. 通過聚光透鏡（Condenser Lens）調整

聚光透鏡控制電子束的聚焦程度，影響束流大小和束斑尺寸。

增強透鏡強度會減少束流，提高分辨率但降低信號強度。

降低透鏡強度會增加束流，提高信號但可能降低分辨率。

操作步驟：

進入 Beam Settings，調整 Condenser Lens Strength。

適當調整以平衡信號強度與分辨率。

4. 通過掃描倍率調整（僅影響局部電流）

在較高倍率下，電子束覆蓋的范圍變小，局部電子束電流密度增加。

在低倍率下，電流密度較低，成像信號較弱。

操作步驟：

適當調整 Magnification，選擇合適的掃描范圍。

以上就是澤攸科技小編分享的如何調整掃描電鏡的電子束電流。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢