掃描電鏡（SEM）電子束聚焦不良時，圖像通常會模糊、不銳利，難以分辨細節(jié)。這時應(yīng)通過以下步驟調(diào)整聚焦，確保電子束準確聚焦在樣品表面：

一、確認基本條件

在調(diào)焦前，先確保以下設(shè)置是合理的：

樣品表面已接近焦平面

手動或自動調(diào)整工作距離，讓樣品表面大致位于焦點附近；

通常初始調(diào)焦建議在中等放大倍數(shù)下進行。

放大倍數(shù)適中

先在中倍率調(diào)焦，再切換高倍率微調(diào)；

低倍率下調(diào)焦不準確，高倍率下更敏感。

二、具體調(diào)焦步驟

1. 使用 焦距調(diào)節(jié)（Focus）旋鈕或按鈕

順時針和逆時針旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)焦距；

一般通過電子控制旋鈕或軟件界面控制，圖像會出現(xiàn)由模糊到清晰的過渡；

在高倍率下緩慢調(diào)節(jié)，直到圖像邊緣銳利、紋理清晰。

2. 使用 Stigmator（像差校正器）

如果調(diào)焦后圖像仍呈橢圓狀、拉長或不均勻模糊，說明存在“像差”；

調(diào)整 X 和 Y 方向的像差校正旋鈕；

一邊觀察圖像變化，一邊調(diào)整，直到圖像各向清晰對稱。

3. 檢查 電子束加速電壓

電壓太低可能導(dǎo)致穿透力不足、聚焦困難；

適當提高電壓可改善聚焦；

注意：電壓越高，對非導(dǎo)電樣品帶電風(fēng)險也越大。

4. 調(diào)整 掃描速度/圖像積分

快速掃描模式下圖像噪聲高、抖動大，不利于觀察對焦效果；

建議在慢掃描或積分模式下進行精細聚焦。